A6K-FILLER-FRNT RadiSys

产品参数，简介，价格，图片等资料，仅供参考，具体以实际询价为准，给您造成的不便请见谅！
欢迎在线或者来电咨询：0592-5361112  微信号：15359273791 QQ:2859249356

    A6K-FILLER-FRNT RadiSys在摩尔定律的指引下，半导体工业每两至三年就跨上一个新的台阶，即所谓的半导体技术开展路线图(ITRS)。估计2004年进入90nm节点器件的批量生产，到2007年为65nm。但是这改动的关键是光刻技术，所以人们总称光刻技术是半导体工业的“领头羊”。2003年ITRS修订的新版别如表1所示。

　　A6K-FILLER-FRNT RadiSys跟着集成电路产品技术需求的前进，光刻技术也不断地前进分辨率，以制作更微细的器件标准。光刻技术的进程如图1所示。

　　A6K-FILLER-FRNT RadiSys传统上前进光刻技术的分辨率无非是缩短曝光波长及增大镜头的数值孔径NA，一般缩短波长是有用的方法之一，各种不同波长的光源如表2所示。

　　实践上，光刻机现在主流产品是KrF(248nm)及i线(365nm)。2003年的销售量总计为350台，其间i线占35%，KrF占45%，ArF约占20%。销售总额为30亿美元。照原先的路线图计划，人们计划将157nm光源作为65nm器件的突破口。即所谓光学方法的极限，再往下走只能选用EUV及EPL等。但是2003年关于半导体工业是个值得回想的年份，5月份Intel公司俄然宣告扔掉157nm技术，将持续运用193nm浸入式光刻技术进行65nm及45nm的制程，并计划选用极短紫外光(EUV)来制作32nm的制程，Intel的此举尤如重量级炸弹一样，由于实则大将157nm技术跳了以前。众所周知，Intel是光刻设备大的买主，Intel的任何动作，将在半导体业界引起的反响。

　　光刻技术的开展方向存在着观念的不合，ITRS亦于2003年12月不得不从头批改了2001年所宣布的光刻工艺技术路线图。终究我们比较一起的定见，在65nm以下，所谓下一代光刻技术将可能选用193nm浸入式技术、157nm、极短紫外光(EUV)或许是电子束投影光刻(EPL)等。本文将介绍现在认为有潜力的各种光刻技术。

193nm 浸入式光刻技术

　　此前业界并没有认为浸入式技术有如此大的成效。直至2002年末浸入式技术的可行性陈说送至国际机构Sematech的桌上今后半年，半导体业界才苏醒过来，浸入式技术灵敏成为光刻技术中的新宠。由于此种技术的原理清楚及合作现有的光刻技术变化不大，获得了人们的赏识。

　　在传统的光刻技术中，其镜头与光刻胶之间的介质是空气，而所谓浸入式技术是将空气介质换成液体。实践上，浸入式技术使用光通过液体介质后光源波长缩短来前进分辨率，其缩短的倍率即为液体介质的折射率。例如，在193nm光刻机中，在光源与硅片(光刻胶)之间加入水作为介质，而水的折射率约为1.4，则波长可缩短为193/1.4=132nm。如果放的液体不是水，或许是其它液体，但折射率比1.4高时，那实践分辨率可以非常方便地再次前进，这也是浸入式光刻技术能很快遍及的原因。

　　浸入式技术现在选用的是两次去离子的蒸馏水，碰到的问题如下：

　　在浸入式光刻机系统中，由于多种原因都可能发生气泡，如减压、气泡表面的空气浸透、硅片表面的空气吸入或许与光刻胶表面的作用等。从前作了气泡从构成到的寿数实验，实验发现(包括理论的估计)微细气泡的寿数正比于它的直径，许多微细气泡在之前实践己经分解。

　　归纳起来，尤其是193nm的浸入式技术，现在的开展比较顺利，半导体业界都有满足的决心至少可以完结65nm，乃至45nm节点器件的制程。而且到现在为止，还没发现太大的阻碍。

　　但是，浸入式光刻技术关于半导体工业所带来的效益是无法估计的，可以节省很多的资金，由此对摩尔定律再能持续10至15年完全充满决心。

   用诚信的心，真诚的为您服务！

DSQC 223 YB 560 103-BD

DSQC 223Digital I/O Boar

DSQC 224Combi I/O Board

DSQC 227Winchester Interface Board

DSQC 228Safety Board

DSQC 230Robot Computer Board

DSQC 233  YB 560 103-BS  S3  External axis board

DSQC 233External Axis Board

DSQC 235ARectifier Unit

DSQC 235BServo Rectifier IRB 6000

DSQC 236AServo Drive Unit

DSQC 236BServo Drive Unit

DSQC 236C Servo Drive unit

DSQC 236D 3HAB 2207-1 S4 Servo power unit (3 axis)

DSQC 236D Servo power unit (3 axis) suitable for: IRB 2000

DSQC 236GServo Drive Unit

DSQC 236H Servo Power Unit suitable for: IRB 2400 S4 M96 

DSQC 236K Servo Power Unit suitable for: IRB 2400 S4 M96

DSQC 236P 3HAA 3563-AJA S3 Servo power unit (3 axis)

DSQC 236P Servo Drive Unit (3 Axis)

DSQC 236T Servo Drive Unit

DSQC 238 Resolver Filter Board

DSQC 239 YB 560 103-CH S3 Remote I/O (RIO)

DSQC 239 Remote I/O (RIO)

DSQC 241 POWER SUPPLY

DSQC 243 3HAA 0001-CP S3 SMB

DSQC 248 3HAA 3563-AAA S3 Teach pendant board

DSQC 252 3HAA 3563-ALA S3 Safety board

DSQC 253 Serial Measurement Board SMB Model: 3HAA 3563-AMA

DSQC 254 3HAA 3563-APA S3 Computer Backplane

DSQC 256A  3HAB 2211-1  S3/S4  System board

DSQC 258  3HAA 3563-AUA  S3&S4  Power supply

DSQC 259 3HAB 2205-1 S4 Noise Eliminator Board

DSQC 266C Servo Power Board suitable for: IRB 2000 (Axis 

2,7) IR

DSQC 266H Servo Drive Unit

DSQC 266T Servo Drive Unit suitable for: IRB 6000 (Axis 

1,2,3,7)

DSQC 301 3HAA 3573-ABA S4 Programmable unit board

DSQC 313 3HAB 2213-1/3 S4 SMB

DSQC 314A

DSQC 314B DSQC 314B Rectifier Unit also called a DC Link 

DSQC 31

DSQC 324 3HAB 5957-1/3 S4C Memory Board 16Mb

DSQC 326 3HAB 2242-1 S4 Robot Computer

DSQC 327 3HAC17971-1 S4C & S4C Plus

DSQC 328  3HAC 17970-1  S4C  Digital I/O Unit

DSQC 332  3HAB9669-1  S4C Relay I/O Unit 16...

DSCQ 336 3HNE 00001/07 S4C Ethernet Communication...

DSQC 344 3HAB 7686-1/013 S4C Interbus S Interface Board

DSQC 351 Interbus-S 

DSQC 652 3HAC025917-001/00 IRC5 Digital Input Output Bd

QHNM 302 S1 Interrupt & power fail board

S4 Teach Pendant Screen TPU1

SIEMENS DSQC 249A

YB 161 100-DP S2 Teach pendant 6m cable

YB560 100-BBA S3 Teach Pendant 10 m cable

YB560 100-EA S3 Teach Pendant 10 m cable 19 way plug

YTE 102A

YTE 102A Servo Drive Unit YT213 001 AA

YTE 102B Servo Drive Unit (fused type) YT213 001 BB

YTE 102B Servo Drive Unit YT213 001 AB

YTE 102C Servo Drive Unit

YTEA 250-8 YT 212 001-AE S2 Servo power board

YYT 102B ASEA (CIRCUIT BOARD)

YYT 102C YT 213 001-BC/2 S2 Servo control board