A6K-FILLER-BLNK RadiSys

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    A6K-FILLER-BLNK RadiSys在摩尔定律的指引下，半导体工业每两至三年就跨上一个新的台阶，即所谓的半导体技能发展路线图(ITRS)。预计2004年进入90nm节点器材的批量生产，到2007年为65nm。可是这改变的关键是光刻技能，所以人们总称光刻技能是半导体工业的“领头羊”。2003年ITRS修订的新版别如表1所示。

　　A6K-FILLER-BLNK RadiSys跟着集成电路产品技能需求的进步，光刻技能也不断地进步分辨率，以制造更微细的器材尺度。光刻技能的进程如图1所示。

　　A6K-FILLER-BLNK RadiSys传统上进步光刻技能的分辨率无非是缩短曝光波长及增大镜头的数值孔径NA，一般缩短波长是有用的办法之一，各种不同波长的光源如表2所示。

　　实践上，光刻机现在主流产品是KrF(248nm)及i线(365nm)。2003年的销售量总计为350台，其中i线占35%，KrF占45%，ArF约占20%。销售总额为30亿美元。照原先的路线图方案，人们方案将157nm光源作为65nm器材的突破口。即所谓光学办法的极限，再往下走只能选用EUV及EPL等。可是2003年关于半导体工业是个值得回想的年份，5月份Intel公司突然宣告抛弃157nm技能，将继续运用193nm浸入式光刻技能进行65nm及45nm的制程，并方案选用极短紫外光(EUV)来制造32nm的制程，Intel的此举尤如重量级炸弹一样，因为实则大将157nm技能跳了曩昔。众所周知，Intel是光刻设备大的买主，Intel的任何动作，将在半导体业界引起的反应。

　　光刻技能的发展方向存在着观点的不合，ITRS亦于2003年12月不得不从头批改了2001年所发表的光刻工艺技能路线图。终我们比较共同的定见，在65nm以下，所谓下一代光刻技能将可能选用193nm浸入式技能、157nm、极短紫外光(EUV)或者是电子束投影光刻(EPL)等。本文将介绍现在以为有潜力的各种光刻技能。

193nm 浸入式光刻技能

　　此前业界并没有以为浸入式技能有如此大的功效。直至2002年底浸入式技能的可行性陈述送至机构Sematech的桌上以后半年，半导体业界才苏醒过来，浸入式技能敏捷成为光刻技能中的新宠。因为此种技能的原理明晰及合作现有的光刻技能变动不大，获得了人们的欣赏。

　　在传统的光刻技能中，其镜头与光刻胶之间的介质是空气，而所谓浸入式技能是将空气介质换成液体。实践上，浸入式技能使用光经过液体介质后光源波长缩短来进步分辨率，其缩短的倍率即为液体介质的折射率。例如，在193nm光刻机中，在光源与硅片(光刻胶)之间加入水作为介质，而水的折射率约为1.4，则波长可缩短为193/1.4=132nm。如果放的液体不是水，或者是其它液体，但折射率比1.4高时，那实践分辨率能够十分方便地再次进步，这也是浸入式光刻技能能很快遍及的原因。

　　浸入式技能现在选用的是两次去离子的蒸馏水，碰到的问题如下：

　　在浸入式光刻机系统中，因为多种原因都可能发生气泡，如减压、气泡外表的空气渗透、硅片外表的空气吸入或者与光刻胶外表的效果等。从前作了气泡从构成到决裂的寿数试验，试验发现(包含理论的估量)微细气泡的寿数正比于它的直径，许多微细气泡在决裂之前实践己经分解。

　　归纳起来，尤其是193nm的浸入式技能，现在的发展比较顺利，半导体业界都有足够的信心至少能够完成65nm，甚至45nm节点器材的制程。并且到现在为止，还没发现太大的妨碍。

　　可是，浸入式光刻技能关于半导体工业所带来的效益是无法估量的，能够节约很多的资金，由此对摩尔定律再能继续10至15年充满信心。

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DSQC 223 YB 560 103-BD

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DSQC 236D 3HAB 2207-1 S4 Servo power unit (3 axis)

DSQC 236D Servo power unit (3 axis) suitable for: IRB 2000

DSQC 236GServo Drive Unit

DSQC 236H Servo Power Unit suitable for: IRB 2400 S4 M96 

DSQC 236K Servo Power Unit suitable for: IRB 2400 S4 M96

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DSQC 239 Remote I/O (RIO)

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DSQC 243 3HAA 0001-CP S3 SMB

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DSQC 258  3HAA 3563-AUA  S3&S4  Power supply

DSQC 259 3HAB 2205-1 S4 Noise Eliminator Board

DSQC 266C Servo Power Board suitable for: IRB 2000 (Axis 

2,7) IR

DSQC 266H Servo Drive Unit

DSQC 266T Servo Drive Unit suitable for: IRB 6000 (Axis 

1,2,3,7)

DSQC 301 3HAA 3573-ABA S4 Programmable unit board

DSQC 313 3HAB 2213-1/3 S4 SMB

DSQC 314A

DSQC 314B DSQC 314B Rectifier Unit also called a DC Link 

DSQC 31

DSQC 324 3HAB 5957-1/3 S4C Memory Board 16Mb

DSQC 326 3HAB 2242-1 S4 Robot Computer

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DSQC 328  3HAC 17970-1  S4C  Digital I/O Unit

DSQC 332  3HAB9669-1  S4C Relay I/O Unit 16...

DSCQ 336 3HNE 00001/07 S4C Ethernet Communication...

DSQC 344 3HAB 7686-1/013 S4C Interbus S Interface Board

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DSQC 652 3HAC025917-001/00 IRC5 Digital Input Output Bd

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YTE 102A

YTE 102A Servo Drive Unit YT213 001 AA

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YTE 102B Servo Drive Unit YT213 001 AB

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YYT 102B ASEA (CIRCUIT BOARD)

YYT 102C YT 213 001-BC/2 S2 Servo control board